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河源單極脈沖磁控濺射電源設(shè)備廠(chǎng)真空鍍膜技術(shù)我們都不陌生,真空鍍膜就是置待鍍材料和被鍍基板于真空室內(nèi),采用一定方法加熱待鍍材料,使之蒸發(fā)或升華,并飛行濺射到被鍍基板表面凝聚成膜的工藝。雖然真空鍍膜技術(shù)工業(yè)化的時(shí)間并不長(zhǎng),高品質(zhì)單極脈沖磁控濺射電源設(shè)備廠(chǎng)只有短短的十余年時(shí)間,但其發(fā)展相當(dāng)迅速。作為一種環(huán)保無(wú)公害的技術(shù),特別是在節(jié)約能源、降低成本、擴(kuò)大塑膠附加功能等方面日益顯示出它的眾多優(yōu)越性。在日常生活和科學(xué)技術(shù)上起到的作用也日益顯著,越來(lái)越受到廣大科技研發(fā)人員的重視和歡迎。
河源單極脈沖磁控濺射電源設(shè)備廠(chǎng)1、電控柜的操作:1)開(kāi)水泵、氣源。2)開(kāi)總電源。3)開(kāi)維持泵、真空計(jì)電源,真空計(jì)檔位置V1位置,等待其值小于10后,高品質(zhì)單極脈沖磁控濺射電源設(shè)備廠(chǎng)再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。4)開(kāi)機(jī)械泵、予抽,開(kāi)渦輪分子泵電源、啟動(dòng),真空計(jì)開(kāi)關(guān)換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。5)觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后,關(guān)予抽,開(kāi)前機(jī)和高閥繼續(xù)抽真空,抽真空到達(dá)一定程度后才能開(kāi)右邊的高真空表頭,觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能開(kāi)電子槍電源。
河源單極脈沖磁控濺射電源設(shè)備廠(chǎng)擴(kuò)散泵連續(xù)使用6個(gè)月以上,抽速明顯變慢,或操作失當(dāng),充入大氣,拆去聯(lián)結(jié)水管,卸下電爐盤(pán),將一級(jí)噴嘴擰出,先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍,再用洗衣粉兌水清洗一遍,然后用清水徹底清洗干凈,待水份揮發(fā)干以后,高品質(zhì)單極脈沖磁控濺射電源設(shè)備廠(chǎng)裝好泵膽,加入新擴(kuò)散泵油,并裝回機(jī)體,接好水管,裝好電爐盤(pán),便可以重新開(kāi)機(jī)。在重新開(kāi)機(jī)前,要注意檢漏工作。方法是:?jiǎn)?dòng)維持泵,關(guān)好大門(mén),數(shù)分鐘后,觀察擴(kuò)散泵部分真空度是否達(dá)到6X10帕,否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈,或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒環(huán)無(wú)法進(jìn)入工作狀態(tài)。
河源單極脈沖磁控濺射電源設(shè)備廠(chǎng)主要指一類(lèi)需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類(lèi),包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。高品質(zhì)單極脈沖磁控濺射電源設(shè)備廠(chǎng)簡(jiǎn)述需要鍍膜的被成為基片,鍍的材料被成為靶材。通過(guò)真空鍍膜技術(shù)的應(yīng)用,使塑料表面金屬化,將有機(jī)材料和無(wú)機(jī)材料結(jié)合起來(lái),大大提高了它的物理、化學(xué)性能。
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