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有必要對真空鍍膜電源設(shè)備的部件表面進(jìn)行清潔，因為如果受到外界環(huán)境的影響，真空系統(tǒng)將無法正常使用，無法達(dá)到高真空度。
此外，在雜質(zhì)存在的情況下，真空元件的連接和密封都會受到影響。
污染物雜質(zhì)對于真空來說是完全無用的物質(zhì)，多弧離子鍍膜機(jī)根據(jù)雜質(zhì)的狀態(tài)將其分為固體雜質(zhì)、氣體雜質(zhì)和液體雜質(zhì)，它們以顆粒的形式存在。從化學(xué)的角度來看，它既可以是離子的，也可以是共價的，既可以是有機(jī)的，也可以是無機(jī)的。
暴露在外的外表面較容易被污染，而且污染的種類很多，通常是一開始自身操作形成的。
應(yīng)注意表面吸附、化學(xué)反應(yīng)、清洗和干燥過程，以及各種操作過程中機(jī)械污漬和表面污染物增加的可能性。
前期開始注意機(jī)器的保養(yǎng)和清洗，可以減少后期的很多麻煩，防止濺射鍍膜機(jī)各種小問題的發(fā)生，提高工作效率，對真空鍍膜機(jī)的鍍膜質(zhì)量起到非常重要的作用。
它可以較大限度地提高真空系統(tǒng)壁和其他機(jī)器配件在不同情況下的穩(wěn)定性。
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