偏壓電源類型

2024-06-10 10:00:34

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脈沖偏壓電源是真空電弧離子鍍和磁控濺射鍍膜或其他真空物理氣相沉積設(shè)備的重要組成部分，對于不同的鍍膜工藝，偏壓電源也分為不同的類型

根據(jù)波形可以分為：

一、直流偏壓電源

二、直流脈沖偏置

主要特點

1.高頻單極脈沖對工件施加偏壓，與直流偏壓相比，由于電壓中斷間隙的存在，可以有效減少點火次數(shù)，保護工件表面。

2.在脈沖間隙期間，可以中和工件表面積聚的電荷，從而減少表面電荷積聚引起的點火。

3.高頻逆變器技術(shù)的快速關(guān)斷能力可以有效地減少每個火花釋放的能量，即使在火花出現(xiàn)時，也可以顯著降低工件表面的大損傷程度。

4.在脈沖間隙期間沉積到工件表面的離子能量非常低。

5.可以通過調(diào)節(jié)頻率和占空比來提高和控制成膜速度和質(zhì)量。

偏壓電源

三、直流疊加脈沖偏置

主要特點

1.具有單極脈沖偏置電源的所有特性。

2.在直流和直流疊加脈沖模式下，消除了單極脈沖間隙之間離子能量低的問題。

四、雙極脈沖偏置

主要特點

1.負(fù)脈沖的作用與單極脈沖偏置電源相同，正脈沖的作用主要是吸引等離子體中的電子，以中和工件表面正電荷的積累。因為電子的質(zhì)量比離子的質(zhì)量小得多，加速很容易，所以正脈沖的振幅比負(fù)脈沖的振幅小得多——通常為10~100V，正負(fù)脈沖的電流積分應(yīng)該相等。因此，正電源的功率遠(yuǎn)小于負(fù)電源的功率。

2.當(dāng)正電源電壓為零時，雙極脈沖偏壓變?yōu)閱螛O脈沖偏壓。