當(dāng)前標(biāo)簽：直流磁控濺射電源
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主要型號(hào)：型號(hào)功率(kW)大的工作電流(A)外形尺寸冷卻方式空載電壓(V)工作電壓(V)MSD-10k1012.51單元風(fēng)冷480*243*565（WHD）1000150~800VMSD-20k20251單元MSD-30k3037.52單元
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主要型號(hào)：型號(hào)功率(kW)工作電流(A)外形尺寸冷卻方式空載電壓(V)工作電壓(V)MSD-500W0.5kW1.0482*132*440(WHD)[3U]風(fēng)冷750100~500VMSD-1000W1kW2.0MSD-2000W2kW4.
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主要型號(hào)：型號(hào)功率(kW)蕞大工作電流(A)外形尺寸冷卻方式空載電壓(V)工作電壓(V)MSD-10k1012.51單元風(fēng)冷480*243*565（WHD）（3U）1000150~800VMSD-20k20251單元MSD-30k3037.
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