主要型號(hào)：

主要特點(diǎn)：
   A 采用先進(jìn)的電流型開關(guān)電源技術(shù)，減小輸出儲(chǔ)能元件，
同時(shí)提高了抑制打火及重啟速度，應(yīng)用在鋁靶鍍膜優(yōu)勢更為明顯。
   B 具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對(duì)于傳統(tǒng)的恒流模式，
更能保證鍍膜工藝的重復(fù)性。
  C 具有理想的電壓陡降特性，自動(dòng)識(shí)別偽打火現(xiàn)象，
充分滿足磁控濺射工藝過程的連續(xù)性。
  D 可選擇手動(dòng)控制/模擬量接口控制，可選配RS485通訊接口。
  E 專門為試驗(yàn)型真空設(shè)備定制，相對(duì)生產(chǎn)型設(shè)備的直流磁控濺射電源，
為客戶減小電源體積和降低成本
采用先進(jìn)的PWM脈寬調(diào)制技術(shù)，使用進(jìn)口IGBT或MOSFET作為功率開關(guān)器件，
體積小、重量輕、功能全、性能穩(wěn)定可靠，生產(chǎn)工藝嚴(yán)格完善。
該系列產(chǎn)品采用先進(jìn)的DSP控制系統(tǒng)，充分保證鍍膜工藝的重復(fù)性，
并且具有抑制靶材弧光放電及抗短路功能，
具有極佳的負(fù)載匹配能力，既保證了靶面清洗工藝的穩(wěn)定性，又提高了靶面清洗速度；
主要參數(shù)均可大范圍連續(xù)調(diào)節(jié)；
方便維護(hù)，可靠性高；
PLC接口和RS485接口擴(kuò)展功能，方便實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制。

主要用途：

直流磁控濺射用于鍍制各種金屬。

真空鍍膜電源的故障現(xiàn)象分析及排除，在實(shí)際使用的過程中，真空鍍膜機(jī)就出現(xiàn)過不少故障，其中高壓電源部分的故障較多，也比較復(fù)雜，下面就幾種典型的故障進(jìn)行分析。

1、增加電子束流時(shí)，高壓沒有指示

真空鍍膜機(jī)在正常工作的時(shí)候，設(shè)備的主開關(guān)電路中的開關(guān)管處于飽和的導(dǎo)通狀態(tài)，當(dāng)管壓下降保持在100V左右的時(shí)候，柵極得到正偏壓50V，高壓指示6kV（或10kV）。從檢測電路上得到的電壓控制信號(hào)不足以使穩(wěn)壓管擊穿導(dǎo)通。在不正常的情況下，增加束流時(shí)，由于束斑的位置不在中心，電子束可能會(huì)打到坩堝的邊緣，或者束斑的位置在中心，但蒸鍍的材料被打穿等原因，都會(huì)出現(xiàn)高壓無指示。這是由于高壓輸出被近似短路，造成電子束流大于預(yù)定的值，主開關(guān)管處于截止?fàn)顟B(tài)，承受全部的高壓，讓高壓無法輸出。由于打火而造成束流過大的時(shí)候，在電流檢測電路時(shí)取得的過流信號(hào)，使得穩(wěn)壓管被擊穿導(dǎo)通，管壓處于導(dǎo)通狀態(tài)，這時(shí)高壓就沒有指示了。

2、無束流時(shí)，高壓指示不穩(wěn)定

在正常的情況下，即使有束流高壓指示也應(yīng)該是穩(wěn)定的，無束流時(shí)高壓指示不穩(wěn)定，高壓表指針就會(huì)來回的擺動(dòng)，這就是不正常情況。從原理上分析，高壓電源和負(fù)載有問題都會(huì)出現(xiàn)這種現(xiàn)象。為了便于排查，先將高壓電源和負(fù)載分開，如果問題還在，就證明問題不在負(fù)載那方面，而是在高壓電源那方面，高壓電源是由高壓部分和自動(dòng)電源的主開關(guān)管進(jìn)行切斷的。當(dāng)有束流時(shí)，高壓指示頻繁的擺動(dòng)，就是高壓出現(xiàn)連續(xù)性的過流打火，自動(dòng)復(fù)位部分就開始運(yùn)行，使得高壓電源的主開關(guān)管始終處在切斷和導(dǎo)通這兩種狀態(tài)，反映在高壓表上的指針就金頻繁的擺動(dòng)。在實(shí)際的修理過程中發(fā)現(xiàn)，有時(shí)會(huì)出現(xiàn)這種故障并不是由于高壓電源內(nèi)部的原因，而是真空室內(nèi)有污染，因?yàn)樵O(shè)備使用了很多年，鐘罩內(nèi)壁上聚集了許多蒸鍍的材料。在有束流的情況下，會(huì)產(chǎn)生二次、三次電子，從而產(chǎn)生較大的假束流，使得主開關(guān)管不停的導(dǎo)通和截止，高壓指示就不穩(wěn)定了。消除這種故障，可先將電子槍、坩鍋、高壓電極進(jìn)行徹底地清洗，如味故障還沒有補(bǔ)消除，再將鐘罩內(nèi)所有的器件和鐘罩內(nèi)壁進(jìn)行徹底的清洗，故障就會(huì)被消除，高壓指示就不會(huì)在頻繁的擺動(dòng)了。