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真空鍍膜電源采用先進(jìn)的PWM脈沖寬度調(diào)制技術(shù)性,具備良好的動(dòng)態(tài)性性能和抗干擾性才可以,動(dòng)態(tài)性映襯時(shí)時(shí)刻刻十分小。整體規(guī)劃有工作電壓.電流量雙閉環(huán)控制操控電源電路,可即時(shí)對(duì)輸出電流電壓的操控。在起弧和維弧時(shí)要積極急速操控電流電壓使起弧和維弧工作更穩(wěn)定,減壓穩(wěn)壓閥精密度大大的發(fā)展,能有效節(jié)約濺射靶材使用量,發(fā)展生產(chǎn)能力,保證 鍍膜品質(zhì)。
真空機(jī)電源的大的特點(diǎn)及產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn):采用了先進(jìn)的PWM脈沖寬度調(diào)制技術(shù)性,具備良好的動(dòng)態(tài)性性能和抗干擾性才可以,動(dòng)態(tài)性映襯時(shí)時(shí)刻刻低于10mS。整體規(guī)劃有工作電壓.電流量雙閉環(huán)控制操控電源電路,可即時(shí)對(duì)輸出電流電壓的操控,能有效解決磁控濺射流程中負(fù)極相對(duì)孔徑的不清理造成電光充放電導(dǎo)致大電流量沖擊性造成電源的毀壞疑惑。
采用智能化DSP操控技術(shù)性,積極操控電源的恒流源恒流電源情況。在起弧和維弧時(shí)要積極急速操控電流電壓使起弧和維弧工作更穩(wěn)定。具備工作電壓陡降特點(diǎn),可充足令人滿意射頻濺射的特別要求。
電源的輸出電流電壓操控精密度低于0.2%。具備模擬量輸入操控插口,客戶的4-20mA數(shù)據(jù)信號(hào)能操控電源的電流電壓,電源輸出4-20mA數(shù)據(jù)信號(hào)供客戶的PLC呈現(xiàn)電源的輸出電流電壓。電源的功率因素達(dá)到0.95,電源輸出功率≥90%。
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