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真空鍍膜是一種通過(guò)物理方法生產(chǎn)薄膜材料的技術(shù)。在真空室中，材料的原子從加熱源中分離出來(lái)，撞擊在被鍍物體的表面上。真空鍍膜機(jī)在正常工作情況下，通電時(shí)必須先打開(kāi)水管，工作中要隨時(shí)注意水壓。
真空鍍膜電源在離子轟擊蒸發(fā)過(guò)程中，要特別注意高壓線接頭，不要觸碰，以防觸電。用電子槍鍍膜時(shí)，應(yīng)在鐘罩外圍放一塊鋁板。觀察窗的玻璃好是鉛玻璃，觀察時(shí)應(yīng)佩戴鉛玻璃眼鏡，防止X射線對(duì)人體造成傷害。
在鍍多層介質(zhì)膜的鍍層室內(nèi)，應(yīng)安裝通風(fēng)除塵裝置，及時(shí)清除有害粉塵。易燃、有毒物品應(yīng)妥善保管，防止火災(zāi)中毒。酸洗夾具應(yīng)在通風(fēng)設(shè)備中進(jìn)行，并應(yīng)戴上橡膠手套。將零件放入酸洗或堿洗槽時(shí)，應(yīng)輕拿輕放，不得碰撞、濺水。通常酸洗槽應(yīng)加蓋。
真空鍍膜有蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍?nèi)N形式：當(dāng)濺射鍍膜用高能粒子轟擊固體表面時(shí)，可以獲得固體表面的粒子。能量從表面逸出并沉積在基板上；離子鍍蒸發(fā)物質(zhì)的分子通過(guò)電子撞擊被電離，并以離子的形式沉積在固體表面。所有三種形式的真空鍍膜技術(shù)都需要快速冷卻裝置來(lái)輔助真空鍍膜過(guò)程。
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