真空鍍膜機(jī)的鍍膜工藝，應(yīng)適用于電源，鍍基材不同，工藝不一樣，設(shè)備配置不一樣，電源的使用也不一樣，下面為大家介紹幾種常見的電源：

電弧電源

電弧離子鍍膜中靶材的蒸發(fā)和電離須依靠電弧電源提供能量。在實(shí)際的鍍膜過程中，電源應(yīng)能自動(dòng)檢測(cè)到滅弧現(xiàn)象并自動(dòng)啟動(dòng)電弧，以確保鍍膜過程的連續(xù)性和均勻性。此外，電弧電源的電弧穩(wěn)定性能，特別是小電弧穩(wěn)定電流，對(duì)薄膜的一致性、效率和光潔度有很大影響。一臺(tái)多弧離子鍍膜機(jī)配備了幾個(gè)電弧電源，十幾個(gè)，甚至幾十套。穩(wěn)定可靠的運(yùn)行對(duì)整個(gè)設(shè)備的性能至關(guān)重要。電弧電源從傳統(tǒng)的電源，通過使用晶閘管技術(shù)，發(fā)展到目前的高頻逆變器。與傳統(tǒng)電磁晶閘管技術(shù)制成的電弧電源相比，高頻逆變電弧電源具有以下特點(diǎn)：

1.體積減小，僅為舊電源的一小部分；相應(yīng)電源的重量?jī)H為傳統(tǒng)電源的十分之一到十分之一。

2.電源效率明顯提高，比舊電源效率提高約20%-30%。

3.操作輕便，電流調(diào)節(jié)精度高，穩(wěn)流性能好，有利于控制膜厚，保證膜厚的可重復(fù)性。

4.高頻逆變模式的電弧電源紋波較小，響應(yīng)速度遠(yuǎn)高于舊電源。在相同的電弧源和工作條件下，使用高頻逆變電弧電源有利于提高電弧的穩(wěn)定性，減少滅弧次數(shù)。

磁控濺射電源

從輸出波形來看，隨著磁控濺射技術(shù)本身的發(fā)展，經(jīng)歷了直流、單極脈沖、對(duì)稱雙極脈沖（中頻磁控濺射電源）和雙極脈沖（非對(duì)稱中頻磁控濺射功率）幾種方式。目前，新型磁控濺射電源基本采用高頻逆變開關(guān)電源技術(shù)，中頻磁控濺射電源已成為新型磁控濺射設(shè)備電源。為了控制膜層的厚度，磁控濺射電源須穩(wěn)定工作并具有良好的恒定特性。目前，主要使用恒流模式，也有恒功率模式，很少使用恒壓模式。此外，磁控濺射鍍膜技術(shù)的一個(gè)顯著優(yōu)點(diǎn)是膜層致密，光潔度好。為了實(shí)現(xiàn)這一優(yōu)勢(shì)，有必要在磁控濺射過程中嚴(yán)格限制靶表面上的點(diǎn)火次數(shù)和每次點(diǎn)火的能量，并盡量減少點(diǎn)火力矩引起的宏觀靶粒子的數(shù)量，這將降低膜層的密度和光潔度，嚴(yán)重導(dǎo)致薄膜脫落。

偏壓電源

偏壓電源用于多弧離子和磁控濺射涂層技術(shù)。只是因?yàn)榇趴貫R射的電離率遠(yuǎn)低于多弧離子鍍，所以所需偏壓電源的功率較小。目前，許多設(shè)備都配備了磁控濺射靶和多弧靶，偏壓電源的選擇應(yīng)根據(jù)多單元操作的要求來確定。早期的偏置電壓主要是采用晶閘管技術(shù)的直流偏置電源，現(xiàn)在主要是采用高頻逆變技術(shù)制造的單極、直流疊加脈沖和雙極脈沖偏置電源。偏壓電源主要用于多弧離子和磁控濺射涂層、離子轟擊和薄膜沉積過程中的輝光清洗，以在鍍覆工件上施加偏壓，并在輝光清洗過程中產(chǎn)生輝光。在離子轟擊中用于加速離子，提高離子轟擊進(jìn)入工件表面的能量，達(dá)到濺射清洗效果和提高薄膜結(jié)合力的目的，在薄膜沉積中，它還用于增加離子能量，促進(jìn)和改善薄膜生長，還將提高薄膜基部結(jié)合力，以下是偏壓電源的幾種常見波形：

單極脈沖偏壓電源

主要特點(diǎn)

1.高頻單極脈沖偏壓作用在工件上，與直流偏壓相比，由于存在電壓中斷間隙，可以有效減少點(diǎn)火次數(shù)，保護(hù)工件表面。

2.在脈沖間隙期間，工件表面積累的電荷可以被中和，從而減少表面電荷積累引起的點(diǎn)火。

3.高頻逆變技術(shù)的快速關(guān)斷能力能有效減少每次火花釋放的能量，即使出現(xiàn)火花，也能顯著降低對(duì)工件表面的大損傷程度。

4.在脈沖間隙期間沉積到工件表面的離子能量非常低。

5.通過調(diào)節(jié)頻率和占空比，可以提高和控制成膜速度和質(zhì)量。

直流疊加脈沖偏壓電源

主要特點(diǎn)

1.具有單極脈沖偏壓電源的所有特性。

2.在直流和直流疊加脈沖模式下，消除了單極脈沖間隙之間離子能量低的問題。

雙極脈沖偏壓電源

主要特點(diǎn)

1.負(fù)脈沖的作用與單極脈沖偏壓電源相同，正脈沖的作用主要是吸引等離子體中的電子，以中和工件表面積累的正電荷。因?yàn)殡娮拥馁|(zhì)量比離子的質(zhì)量小得多，所以加速很容易，所以正脈沖的幅度比負(fù)脈沖的幅度小得多。通常為10~100V，正負(fù)脈沖的電流積分應(yīng)該相等。因此，正電源的功率遠(yuǎn)小于負(fù)電源的功率。

2.當(dāng)正電源電壓為零時(shí)，雙極性脈沖偏壓變?yōu)閱螛O性脈沖偏壓。